數(shù)字勻膠機(jī) 自動勻膠機(jī) 型號:TJ1200
產(chǎn)品特點:
數(shù)字勻膠機(jī)是用于半導(dǎo)體,集成電路及激光全息商標(biāo)制造過程中,在硅片、掩模板、玻璃片、陶瓷片等基片上進(jìn)行涂布光刻(感光)膠的設(shè)備。本機(jī)的工作原理是利用高速旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的離心力,將滴于基片上多余的光刻(感光)膠液甩去,在光刻(感光)膠表面張力和離心力的共同作用下,展成厚度均勻的膠膜。本機(jī)具有勻膠效率高、使用方便等優(yōu)點,勻膠速度和勻膠時間分別可調(diào),電器電路具有較高的穩(wěn)定性,結(jié)構(gòu)合理,旋轉(zhuǎn)平穩(wěn),轉(zhuǎn)速、時間采用數(shù)字顯示,直觀性強(qiáng)。本機(jī)可與光刻機(jī)配套使用。
【備 注】:
數(shù)字勻膠機(jī)TJ1200的主要技術(shù)參數(shù)見下表:
項目參數(shù)
工作電壓380V/220V
整機(jī)功率1200W
勻膠時間控制范圍0.01-99.99秒;0.01-99.99分
轉(zhuǎn)速0—8000RPM
裝片直徑(可根據(jù)用戶要求定制)φ35—75mm
勻膠工位(可根據(jù)用戶要求定制)1—4工位
外形尺寸長×寬×高 850×810×1600mm
凈重120kg
注:用戶有何特殊要求可協(xié)商。